Fiji / ImageJ

Fiji は ImageJ の科学画像解析向けディストリビューションで、多数のプラグインを統合しており、顕微鏡画像の処理、粒子の計数、欠陥の計測、形状解析、画像の一括処理に向いています。半導体研究では、SEM、TEM、AFM、光学顕微鏡画像、ウェハー欠陥画像の定量解析に使えます。

適用場面：SEM 画像、TEM 画像、AFM 画像、欠陥検出、粒子の計数、顕微鏡画像の解析

注意：複雑な欠陥の自動認識には、Python、OpenCV、機械学習の手法をさらに組み合わせることができます。