Fiji / ImageJ

Fiji 是 ImageJ 的科学图像分析发行版，集成了大量插件，适合显微图像处理、颗粒统计、缺陷测量、形貌分析和批量图像处理。在半导体研究中，可用于 SEM、TEM、AFM、光学显微图像和晶圆缺陷图像的定量分析。

适用场景：SEM图像、TEM图像、AFM图像、缺陷检测、颗粒统计、显微图像分析

注意：复杂自动化缺陷识别可进一步结合 Python、OpenCV 或机器学习方法。