开源多物理场有限元软件，适合热、电、结构和耦合问题模拟。
Elmer FEM 是由 CSC 开发的开源有限元多物理场模拟软件，可用于热传导、电磁、结构力学、流体和耦合问题。对于半导体与微电子研究，可辅助分析封装热管理、电热耦合、微结构应力和多物理场问题。
适用场景：有限元、多物理场、电热耦合、热管理、微电子封装、结构应力
注意：具体半导体器件物理方程可能需要自定义或与其他工具配合。
